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Strahloptik
Hauptkomponenten der Strahlführung für geladene Teilchen
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Elemente zur elektrostatischen Fokussierung geladener Teilchenstrahlen
Einzel-Linsen sind ionenoptische Strahllinienkomponenten zur Führung und Fokussierung geladener Teilchenstrahlen, die für den Einsatz in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumumgebungen geeignet sind.
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Elemente für die elektrostatische Ablenkung geladener Teilchenstrahlen
Elektrostatische Ablenker sind Elemente für die Führung und Ablenkung geladener Teilchenstrahlen in Strahllinien. Das Ablenksystem besteht aus vier separaten Segmenten, zwei für horizontale (X) und zwei für vertikale (Y) Ablenkung. Wir bieten verschiedene Designs an, die spezifischen Kundenanforderungen entsprechen.
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Elektrostatische ±90° Ablenkung geladener Teilchenstrahlen
Der DREEBIT Quadrupol-Strahlbieger ist eine ionenoptische Vorrichtung, die darauf ausgelegt ist, geladene Teilchen um einen Winkel von bis zu ±90° zu biegen. Die Ablenkung wird durch Viertelrohr-Elektroden in einer typischen vertikalen elektrostatischen Quadrupol-Anordnung realisiert.
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Magnetische Ablenkung geladener Teilchenstrahlen
Magnetische Steuergeräte sind Vorrichtungen zur Korrektur der Trajektorien geladener Teilchenstrahlen mit kleinen Winkeln. Sie eignen sich für Anwendungen mit hohem Strom.
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Trennung neutraler Partikel von geladenen Teilchenstrahlen
Die neutrale Teilchenstrahlabschirmung wird zur Trennung neutraler Partikel wie Atome oder Moleküle von Strahlen geladener Teilchen durch eine 25°-Ablenkung angewendet.
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