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Das maßgeschneiderte RGA-System für anspruchsvolle Restgasmessungen

Ihre Grenzwerte, Ihre Anforderungen: Präzision nach Wunsch Unser OmniGrade ist die maßgeschneiderte Komplettlösung zur Sauberkeitsverifizierung– von unseren Experten für Sie individuell konfiguriert und optimiert.


Reinheitsprüfung mit fundiertem Wissen zur Restgasanalyse (RGA)

Schnell expandierende Märkte mit immer höheren technischen Anforderungen legen zunehmend Wert auf höchste Sauberkeit, da molekulare Kontaminationen die Funktionalität ihrer Produkte beeinträchtigen. Der Schlüssel zur fachgerechten Qualitätssicherung liegt in der korrekten Bestimmung der Ausgasraten mittels Massenspektrometrie unter Hochvakuumbedingungen.

Seit vielen Jahren unterstützen wir unsere Kunden durch ein umfangreiches Portfolio an Analysegeräten zur Restgasanalyse. Über die Zeit ändern sich auch die Prüfanforderungen. Mit unserem OmniGrade erweitern wir unser Portfolio an Produkten zur Restgasanalyse, um eine höhere Wertschöpfungsstufe anzubieten und damit den Nutzen für unsere Kunden zu steigern.


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Reinheitsprüfung mit fundiertem Wissen zur Restgasanalyse (RGA)

Schnell expandierende Märkte mit immer höheren technischen Anforderungen legen zunehmend Wert auf höchste Sauberkeit, da molekulare Kontaminationen die Funktionalität ihrer Produkte beeinträchtigen. Der Schlüssel zur fachgerechten Qualitätssicherung liegt in der korrekten Bestimmung der Ausgasraten mittels Massenspektrometrie unter Hochvakuumbedingungen.

Seit vielen Jahren unterstützen wir unsere Kunden durch ein umfangreiches Portfolio an Analysegeräten zur Restgasanalyse. Über die Zeit ändern sich auch die Prüfanforderungen. Mit unserem OmniGrade erweitern wir unser Portfolio an Produkten zur Restgasanalyse, um eine höhere Wertschöpfungsstufe anzubieten und damit den Nutzen für unsere Kunden zu steigern.


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RGA-Systeme im Baukastenprinzip für jeden Prüfbedarf

Jede Prüfaufgabe ist anders. Unser Expertenteam greift auf den vollen Umfang an Pfeiffer Vacuum-Produkten zu, und konfiguriert daraus das System, das optimal zu Ihren Anforderungen passt. Dabei werden für Ihr OmniGrade nicht nur die einzelnen Komponenten wie Quadrupol-Massenspektrometer, Vakuumpumpen, Kammern und andere Einzelkomponenten gewählt, sondern auch die Gesamtbetriebskosten und Lieferzeiten der maßgeschneiderten, schlüsselfertigen Lösung berücksichtigt. Mit unserem Fachwissen können wir Ihnen dabei helfen, Prüfergebnisse in der von Ihnen benötigten Präzision zu erzielen und gleichzeitig den überflüssigen Aufwand zu minimieren.

Präzision nach Maß

Einen wesentlichen Einfluss auf die erreichbare Nachweisgrenze haben vor allem die Auswahl des Quadrupol-Massenspektrometers (PrismaPro oder HiQuad) und die Festlegung der Kammeranzahl. Im Standardsystem gibt es zwei Kammern, eine in der der Prüfling liegt und eine, in der sich das Spektrometer befindet. Bei Bedarf wird dieser Aufbau um eine dritte Kammer, die Schleusenkammer, ergänzt. Hierdurch wird eine Kontamination der Messkammer aus der Umgebung vermieden und der Untergrund deutlich verringert. Durch Ausheizen des Systems wird dieses optimal konditioniert, was die Messfähigkeit weiter erhöht.

Ihre OmniGrade-Vorteile

  • Bedarfsgerechte Ausführung durch Baukastensystem
  • Niedrige Nachweisgrenzen möglich

  • Vollautomatisierter Messprozess

  • Weltweites Servicenetzwerk

  • Prüfung gemäß GSA 07 1221 & GSA 07 2221

Anwendungen und Einsatzgebiete der OmniGrade-Restgasanalyse

  • EUV-Lithographie in der Halbleiterfertigung
  • Elektronenmikroskopie

  • Anwendungen im Ultrahochvakuum (UHV)