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Quadrupol Strahlablenker

Hersteller: DREEBIT GmbH
Der DREEBIT Quadrupol-Strahlbieger ist eine ionenoptische Vorrichtung, die darauf ausgelegt ist, geladene Teilchen um einen Winkel von bis zu ±90° zu biegen. Die Ablenkung wird durch Viertelrohr-Elektroden in einer typischen vertikalen elektrostatischen Quadrupol-Anordnung realisiert.
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Beschreibung

Der DREEBIT Quadrupol-Strahlbieger ist eine ionenoptische Vorrichtung, die darauf ausgelegt ist, geladene Teilchen der elektrischen Ladung q mit kinetischen Energien von bis zu 25 kV·q um einen Winkel von 90° zu biegen. Die Ablenkung wird durch Viertelrohr-Elektroden realisiert, die senkrecht zur Richtung des einfallenden Ionenstrahls in einer typischen elektrostatischen Quadrupol-Anordnung angeordnet sind.

Mit diesem Design kann der Quadrupol-Strahlbieger verwendet werden, um einen Strahl auf bis zu drei verschiedene Strahllinienabschnitte stromabwärts von der Quadrupol-Kammer zu lenken (in Richtungen ±90° und geradeaus). Zusätzlich ist der Quadrupol mit Linsen ausgestattet, um die Form des Strahls nach der ±90°-Ablenkung zu korrigieren.

Die Strahlablenkung kann kontinuierlich eingestellt werden, indem Standard-Stromversorgungen verwendet werden oder der Quadrupol im Impulsbetrieb betrieben wird. Zu diesem Zweck wurde ein Hochspannungspulser mit integrierten Stromversorgungen entwickelt, der als optionale Ausstattung für den Quadrupol-Strahlbieger erhältlich ist.

Technische Parameter

Titel Text
Quadrupole Parameter
maximale Spannung auf den Elektroden des Quadrupol-Strahlbiegers ± 30 kV
Maximale Spannung an den Korrekturlinsen + 10 kV
Maximale Ionstrahlenergie 25 kV · q
Krümmungsradius der Ionenbahn 40 mm
Eingangs- / Ausgangsspaltdurchmesser 12 mm
Quadrupolkapazität < 500 pF
Generelle Parameter
Flansch für die Anbringung an der Strahlführung DN 160 CF, vertical installation
Maximale Ausheiztemperatur 150 °C
Infrastrukturelle Anforderung
Vakuumbedingungen unter Arbeit geeignet von 1e-10 mbar bis zu 1e-7 mbar

Lieferumfang

  • Quadrupolstrahlbieger montiert auf einem DN 160 CF Flansch, einschließlich abgeschirmter Hochspannungs-Durchführungen
  • Hochspannungsanschlüsse für die Befestigung von vom Kunden bereitgestellten Kabeln

Sonderausstattung

  • Stromversorgungen für den Betrieb des Quadrupols inklusive maßgeschneiderter Kabel gemäß den Kundenspezifikationen
  • Hochspannungspulser inklusive Stromversorgungen, Umschalten aller Hochspannungsausgänge zwischen maximal 90 % der maximalen Spannung und Erdpotenzial, Hochspannungsrampenzeit < 10 µs, minimale Verzögerung zwischen zwei "HV ein"-Phasen der Tastverhältnisse 15 ms