Ionenquellen

Leistungsstarke Ionenquellen für die Erzeugung von (hoch)-geladenen Ionen.

Anlagenbau

Kundenspezifische Sonderanlagen im Bereich von (Ultra)-Hochvakuum.

Tieftemperatur

Langjähriges Know-How in den Bereichen Kühlfallen, Kryopumpen, Tieftemperatur-Kryostaten und Supraleitende Magneten

Ionenstrahltechnologie

Hier finden Sie weitere Informationen über DREEBIT Produkte und Lösungen im Bereich der Ionenstrahltechnologie sowie eine umfangreiche Wissensdatenbank rund um das Thema Erzeugung und Charakterisierung von Ionen.

Mehr unter: http://dreebit-ibt.com

Anfragen zum Thema Ionenstrahltechnologie richten Sie bitte an:

Dr. Günter Zschornack

+49-35952-420-201 +49-0174-328 1681

guenter.zschornack@dreebit.com

Beschichtungsanlagen

Konzeption, Auslegung und Konstruktion kundenspezifischer Vakuumbeschichtungsanlagen

  • Widerstandsverdampfer
  • Elektronenstrahlverdampfer
  • Magnetron-Sputterquellen
  • Handlingsysteme / Loadlock-Kammern / Lineardurchführungen
  • Steuerungs- und Automatisierungslösungen nach Industrie-Standard
  • Prozess-Monitoring

Beispiel einer Beschichtungsanlage

  • Kundenspezifische Beschichtungsanlage (Titan-Nitrit Sputter-Prozess)
  • zur Aufbereitung von Hartstoffschichten an Werkstückträgern

Beschichtungsanlage

  • Hochvakuumverdampfung von organischen Materialien und Metallen zur Herstellung von Dünnschichten auf 5“ Wafern oder kleineren Substraten
  • Kubische Kammer DN500; Enddruck (3x10-6 mbar in weniger als einer Stunde)
  • Vier Quellen, zwei Radak-Typ Quellen für organische Materialien und zwei Metallquellen für Au, Ag, Al, Ti, Cr, SiO1,2
    Zwei Beschichtungsdickenmesser
  • Substrathalter heiz- und rotierbar (bis 200°C geregelter Sollwert und 30rpm)

Beschichtungsanlage

  • Hochvakuum-Beschichtungsanlage zur Herstellung hochreflektierender Schichten auf Prototypen für Beleuchtungssysteme im Automotive-Bereich
  • 6-Tiegel-Elektronenstrahlverdampfer
  • Reaktives Verdampfen
  • Erzeugung von Schutzschichten aus SiO2

Bei Fragen zu Beschichtungsanlagen wenden Sie sich bitte an:

Udo Willkommen

+49-35952-420-210 +49-0173-929 3977

udo.willkommen@dreebit.com

Massenspektrometersysteme

Sputter Process Monitoring Systeme

  • schnelle Gas-Analysesysteme zur Online-Überwachung von Beschichtungsprozessen

Lecksuchanlagen

  • kundenspezifische Lösung zur manuellen oder teilautomatisierten Lecksuche

High-Pressure Analyzer

  • Gas-Analysesysteme nach Kundenwunsch
  • konfigurierbar über einen weiten Masse- und Druckbereich bei bestmöglicher Auflösung

Beispiel einer Lecksuchanlage

  • teilautomatisierte Lecksuchanlage zur Dichtheitskontrolle von Treibgaskartuschen für PKW-Airbags
  • automatischer Messablauf nach vorgegebenen Taktzeiten
  • Speicherung der Messdaten in firmeneigenem Datenbanksystem zur Qualitätssicherung

Mobiles Massenspektrometer

  • zur Restgasanalyse und zur Lecksuche
  • Möglichkeit zum Anschluss an eine Vakuumkammer über DN40KF Wellrohrschlauch sowie zur Lecksuche über beheizbare Schnüffelleitung
  • kundenspezifische Software zur Steuerung der Messabläufe

Prozessmodul zur Helium-Lecktestprüfung von Drucksensoren

  • Einbindung in eine automatisierte Fertigungslinie
  • Vollautomatische Messzyklen, Umrüstung auf verschiedene Prüflinge möglich  
  • Kommunikation der Steuerung mit der Kundenanlage, Rückgabe der Messwerte zur Qualitätssicherung

Bei Fragen zu Massenspektrometer-Systemen wenden Sie sich bitte an:

Andreas Schwan

+49-351-2127001-58 +49-0174-328-1692

andreas.schwan@dreebit.com

Sonderpumpstände

Pumpstände zur Vakuumerzeugung nach Kundenwunsch

  • Auslegung, Konstruktion und Fertigung nach Industriestandard
  • Saugvermögen und Enddruck nach Erfordernissen des Kunden
  • Retrofit veralteter Vakuumanlagen durch aktuelle Komponenten

Beispiele

  • Kalibrierpumpstände zur wiederkehrenden Kalibrierung von Druckmesssonden
  • Laborpumpstände zur mobilen Erzeugung verschiedener Vakua

Beispiel eines Sonderpumpstandes

  • Anlage zur Materialanalyse von Gesteinsproben im Ultrahochvakuum (UHV) mittels protonenstrahlinduzierter Röntgenfluoreszenz
  • hochgenaue X-Y Manipulatoren zur Probenpositionierung im µm-Bereich