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Elektrostatische Deflektoren

Hersteller: DREEBIT GmbH
Elektrostatische Ablenker sind Elemente für die Führung und Ablenkung geladener Teilchenstrahlen in Strahllinien. Das Ablenksystem besteht aus vier separaten Segmenten, zwei für horizontale (X) und zwei für vertikale (Y) Ablenkung. Wir bieten verschiedene Designs an, die spezifischen Kundenanforderungen entsprechen.
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Beschreibung

Elektrostatische Ablenker sind Elemente zur Führung und Ablenkung geladener Teilchenstrahlen in Strahllinien. Das Ablenksystem besteht aus vier separaten Segmenten, zwei für die horizontale (X) und zwei für die vertikale (Y) Ablenkung. Wir bieten verschiedene Designs an, die den spezifischen Kundenanforderungen entsprechen.

Normalerweise wird ein X-Y-Ablenkungsaufbau verwendet, um die Richtung eines geladenen Teilchenstrahls innerhalb einer Strahllinie leicht zu korrigieren, oder zwei X-Y-Ablenker werden in einem bestimmten Abstand positioniert, um eine parallele Verschiebung des Strahls zu realisieren. Für diese Anwendungen sind Elektrodenspannungen von bis zu ±500 V ausreichend.

Darüber hinaus können kundenspezifische Entwicklungen angeboten werden, um einen Strahl beispielsweise über eine große Zielfläche zu scannen, wobei Ablenkspannungen von bis zu 5 kV erforderlich sind. Spezielle Lösungen können auch die Möglichkeit umfassen, den Strahl während der Ablenkung durch Überlagern einer bestimmten Linsenspannung auf beide Ablenkelektroden gleichzeitig neu zu fokussieren. Daher sind Linsenspannungen von bis zu 30 kV möglich.

Technische Parameter

Titel Text
Deflektor Parameter
Durchmesser der Innen-Elektrode 10, 20, 30, 40, 100 mm, oder Kundenspezifisch
Maximale Elektrodenspannungen ± 500 V, ±5 kV (offset + or - 30 kV), oder Kundenspezifisch
Maximale Elektrodenspannungen ± 500 V, ±5 kV (offset + or - 30 kV), oder Kundenspezifisch
General Parameters
Flansch zur Befestigung an der Strahllinie DN 63 CF, DN 100 CF, DN 160 CF, oder Kundenspezifisch
Maximale Ausheiztemperatur 150°C
Infrastrukturelle Anforderungen
Vakuumbedingung unter Arbeit (500 V version) Geeignet von 1e-10 mbar bis zum Atmosphärendruck
Vakuumbedingungen unter Arbeit (30 kV version) Geeignet von 1e-10 mbar bis zu 1e-7 mbar

Lieferumfang

  • X-Y-Ablenker auf einen CF-Flansch der benötigten Größe montiert

Sonderausstattung

  • Verbindung der Ablenkelektroden zu elektrischen Durchführungen
  • Anschlüsse zur Befestigung von kundenseitig bereitgestellten Kabeln
  • Maßgeschneiderte Kabel
  • Stromversorgungen für Ablenkelektroden, bis zu $\pm$ \SI{500}{\volt}, kontinuierlich von positiver zu negativer Spannung veränderbar
  • Vakuumkammer