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Dresden ECRIS-2.45MEine vollständige Permanentmagnet-ECR-Ionenquelle
Dresden ECRIS-2.45M
Beschreibung
Die Dresden ECRIS-2.45M ist eine Elektronenzyklotron-Resonanz-Ionenquelle, die darauf ausgelegt ist, Einzelteilchen- und Molekülionenstrahlen mit niedriger Ladung im Bereich von etwa 10 Mikroampere bis zu mehreren Milliampere zu erzeugen, abhängig von der extrahierten Ionenart. Aufgrund ihres kompakten Designs und weniger infrastruktureller Anforderungen kann die Dresden ECRIS-2.45M leicht in bestehende Strahllinien integriert oder auf einen Hochspannungsterminal von elektrostatischen Beschleunigern montiert werden.
Ein Satz permanenter Magnetringe wird verwendet, um das Magnetfeld für die Plasmabegrenzung zu erzeugen. Das Plasma wird von einem abstimmbaren 2,45 ± 0,15 GHz Festkörper-Mikrowellengenerator mit einer Leistung von bis zu 200 W erhitzt. Das Arbeitsgas wird von einem hoch reproduzierbaren und stabilen Massenflussregler bereitgestellt.
Die Quelle verfügt über ein fortschrittliches Ionenextraktionssystem, einschließlich einer elektrostatischen Einzellinse, die die Quelle auch elektrisch von der Strahllinie isoliert. Mit der Standardkonfiguration kann eine maximale Ionenextraktionsspannung von 30 kV angelegt werden. Größere Extraktionspotentiale können auf Anfrage realisiert werden. Die Dresden ECRIS-2.45M wird inklusive aller Stromversorgungen und eines LabView-basierten Befehls- und Steuersystems geliefert.
Abbildung 1 - ECRIS-2.45M Ionenextraktionsspektrum
Abbildung 1 zeigt drei beispielhafte Ionenextraktionsspektren. Darüber hinaus gibt die folgende Tabelle einen Überblick über die aus der Quelle extrahierten Ionenströme.
| Ionenart | Ionenstrom (µA) |
| H+ | 1200 |
| H2+ | 3200 |
| H3+ | 250 |
| He+ | 3200 |
| Ne+ | 1200 |
| Ar+ | 450 |
| Ar2+ | 10 |
Bitte beachten Sie: Die Ionenleistung hängt stark von den Parametern der Ionenquelle ab. Um die höchstmögliche Ionenleistung zu erreichen, müssen die Quellenparameter für jede Ionenart individuell optimiert werden.
Technische Parameter
| Titel | Text |
|---|---|
| Quellenparameter | |
| Mikrowellenstärke | 200 W |
| Quellenpotential | 30kV, 10 mA |
| Extraktionspotenzial | -6 kV, 50 mA |
| Linsenpotential | -30 kV, 10 mA |
| Generelle Parameter | |
| Länge | 460 |
| Durchmesser | 340 |
| Gewicht | ~35 kg (77 lbs) |
| Flansch für die Befestigung an der Strahllinie | DN 160 CF |
| Infrastrukturelle Anforderung | |
| Kühlung | Luftgekühlt, keine Wasserkühlung benötigt |
| Vakuumbedingungen | Basisdruck 1e-7 mbar (1e-5 mbar mit Arbeitsgas) |
| Energieverbrauch | 2kW |
Lieferumfang
- ECR-Ionenquelle einschließlich Vakuumgefäß, Ionenoptik-Komponenten und Permanentmagnetsystem
- 200-W-Mikrowellengenerator
- Hochspannungsvakuumdurchführungen
- Hochreproduzierbarer und stabiler Massenflussregler
- Stromversorgungseinheiten für den Betrieb der Ionenquelle
- Steuerungssystem einschließlich Computer und Software
Sonderausstattung
- Heizzelt inklusive Temperaturregelung
- 19"-Rack für Stromversorgungen und Messgeräte
- Vakuumsystem (TMP, Feinvakuum, Vakuummessung)
- Mittlere oder große Ionenstrahllinie für die Trennung von Ionenladungszuständen
- Lösungen für Ionenbeschleunigung/-verzögerung