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Dresden ECRIS-2.45M

Hersteller: DREEBIT GmbH
Die Dresden ECRIS-2.45M ist eine Elektronenzyklotron-Resonanz-Ionenquelle, die darauf ausgelegt ist, Einzelteilchen- und Molekülionenstrahlen mit niedriger Ladung im Bereich von etwa 10 Mikroampere bis zu mehreren Milliampere zu erzeugen, abhängig von der extrahierten Ionenart.
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Beschreibung

Die Dresden ECRIS-2.45M ist eine Elektronenzyklotron-Resonanz-Ionenquelle, die darauf ausgelegt ist, Einzelteilchen- und Molekülionenstrahlen mit niedriger Ladung im Bereich von etwa 10 Mikroampere bis zu mehreren Milliampere zu erzeugen, abhängig von der extrahierten Ionenart. Aufgrund ihres kompakten Designs und weniger infrastruktureller Anforderungen kann die Dresden ECRIS-2.45M leicht in bestehende Strahllinien integriert oder auf einen Hochspannungsterminal von elektrostatischen Beschleunigern montiert werden.

Ein Satz permanenter Magnetringe wird verwendet, um das Magnetfeld für die Plasmabegrenzung zu erzeugen. Das Plasma wird von einem abstimmbaren 2,45 ± 0,15 GHz Festkörper-Mikrowellengenerator mit einer Leistung von bis zu 200 W erhitzt. Das Arbeitsgas wird von einem hoch reproduzierbaren und stabilen Massenflussregler bereitgestellt.

Die Quelle verfügt über ein fortschrittliches Ionenextraktionssystem, einschließlich einer elektrostatischen Einzellinse, die die Quelle auch elektrisch von der Strahllinie isoliert. Mit der Standardkonfiguration kann eine maximale Ionenextraktionsspannung von 30 kV angelegt werden. Größere Extraktionspotentiale können auf Anfrage realisiert werden. Die Dresden ECRIS-2.45M wird inklusive aller Stromversorgungen und eines LabView-basierten Befehls- und Steuersystems geliefert.

Figure 1 - ECRIS-2.45M ion extraction spectra

Abbildung 1 - ECRIS-2.45M Ionenextraktionsspektrum

Abbildung 1 zeigt drei beispielhafte Ionenextraktionsspektren. Darüber hinaus gibt die folgende Tabelle einen Überblick über die aus der Quelle extrahierten Ionenströme.

Ionenart Ionenstrom (µA)
H+ 1200
H2+ 3200
H3+ 250
He+ 3200
Ne+ 1200
Ar+ 450
Ar2+ 10
 

Bitte beachten Sie: Die Ionenleistung hängt stark von den Parametern der Ionenquelle ab. Um die höchstmögliche Ionenleistung zu erreichen, müssen die Quellenparameter für jede Ionenart individuell optimiert werden.

Technische Parameter

Titel Text
Quellenparameter
Mikrowellenstärke 200 W
Quellenpotential 30kV, 10 mA
Extraktionspotenzial -6 kV, 50 mA
Linsenpotential -30 kV, 10 mA
Generelle Parameter
Länge 460
Durchmesser 340
Gewicht ~35 kg (77 lbs)
Flansch für die Befestigung an der Strahllinie DN 160 CF
Infrastrukturelle Anforderung
Kühlung Luftgekühlt, keine Wasserkühlung benötigt
Vakuumbedingungen Basisdruck 1e-7 mbar (1e-5 mbar mit Arbeitsgas)
Energieverbrauch 2kW

Lieferumfang

  • ECR-Ionenquelle einschließlich Vakuumgefäß, Ionenoptik-Komponenten und Permanentmagnetsystem
  • 200-W-Mikrowellengenerator
  • Hochspannungsvakuumdurchführungen
  • Hochreproduzierbarer und stabiler Massenflussregler
  • Stromversorgungseinheiten für den Betrieb der Ionenquelle
  • Steuerungssystem einschließlich Computer und Software

Sonderausstattung

  • Heizzelt inklusive Temperaturregelung
  • 19"-Rack für Stromversorgungen und Messgeräte
  • Vakuumsystem (TMP, Feinvakuum, Vakuummessung)
  • Mittlere oder große Ionenstrahllinie für die Trennung von Ionenladungszuständen
  • Lösungen für Ionenbeschleunigung/-verzögerung