|
Anwendungen hochgeladener Ionen
Langsame hochgeladene Ionen, d. h. Ionen mit niedriger kinetischer Projektilenergie, können die Oberfläche physikalisch oder chemisch verändern, ohne dabei tiefere Atomlagen des Festkörpers zu schädigen. Sie können daher als sehr effiziente Werkzeuge für die Oberflächenmodifikation im Nanometerbereich eingesetzt werden.
Grundlagenforschung
- Gewinnung von Atomdaten
- Untersuchungen der Wechselwirkung hochgeladener Ionen mit verschiedenen Arten von Materie
Angewandte Technologie
- Ionen - Festkörperoberflächen Wechselwirkungen, wobei der Wechselwirkungsprozess von der
eingetragenen potentiellen Energie (etwa 10 eV bis einige hundert keV pro Ion) dominiert wird
- Einzelionen-Implantation zur Erzeugung von Nanostrukturen oder Implantationsprofilen mit
spezifischen Eigenschaften
- Strahlen hochgeladener Ionen für Oberflächenmodifikationen
- Neue mikroelektronische Schaltungen
- Oberflächenanalyse mit hochgeladenen Ionen
 |
|
|
|
AFM-Abbildung einer Mica-Probe die mit Arq+-Ionen aus der Dresden EBIT bestrahlt wurde
(mit freundlicher Genehmigung von Prof. M. Schleberger, Universität Duisburg-Essen)
|
 drucken
|
|
