Nanostrukturierung

Wechselwirkungen langsamer hochgeladener Ionen mit Festkörperoberflächen erzeugen nanometergroße Oberflächenstrukturen. Die Strukturgröße hängt sowohl von der Ladung des Ions und somit von dessen potenzieller Energie, als auch von der kinetischen Energie des Projektils ab. Die hohe Sekundärteilchenausbeute beim Einschlag eines hochgeladenen Ions kann für neue Entwicklungen und neue Technologien im Bereich der Oberflächenanalyse und Oberflächenmodifikation genutzt werden (beispielsweise TOF-SIMS mit hochgeladenen Ionen - HCI-TOF-SIMS).